數(shù)字勻膠機技術文章
數(shù)字勻膠機 自動勻膠機 型號:TJ1200
產品特點:
數(shù)字勻膠機是用于半導體,集成電路及激光全息商標制造過程中,在硅片、掩模板、玻璃片、陶瓷片等基片上進行涂布光刻(感光)膠的專用設備。本機的工作原理是利用旋轉時產生的離心力,將滴于基片上多余的光刻(感光)膠液甩去,在光刻(感光)膠表面張力和離心力的共同作用下,展成厚度均勻的膠膜。本機具有勻膠效率、使用方便等優(yōu)點,勻膠速度和勻膠時間分別可調,電器電路具有穩(wěn)定性,結構合理,旋轉平穩(wěn),轉速、時間采用數(shù)字顯示,直觀性強。本機可與光刻機配套使用。
【備 注】:
數(shù)字勻膠機TJ1200的主要技術參數(shù)見下表:
項目參數(shù)
工作電壓380V/220V
整機功率1200W
勻膠時間控制范圍0.01-99.99秒;0.01-99.99分
轉速0—8000RPM
裝片直徑(可根據用戶要求定制)φ35—75mm
勻膠工位(可根據用戶要求定制)1—4工位
外形尺寸長×寬×高 850×810×1600mm
凈重120kg
注:用戶有何特殊要求可協(xié)商。